top下载官网经过几十年的发展电子扭转共振(Electron Cyclotron Resonance)微波等离子工夫是本世纪六十年代中期劈头的,始末几十年的进展,如今已日趋成熟.微波ECR等离子体与守旧等离子体比拟,具有高密度、高能量转换率、低职业气压、无电极放电、高各向异性以及低离子能量等利益,最初被运用于核聚变的开荒探究,其后又正在托卡马克、串级磁镜等聚变装配中举办等离子体加热探究.近年来,ECR等离子体被广博使用于微电子工夫,质料加工,低温外面照料工艺中.
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